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常州瑞擇微電子科技有限公司
常州市/市轄區 有限責任公司 其他行業 2200萬人民幣 20-99人
3個
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企業簡介
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常州瑞擇微電子科技有限公司(REC)成立于2008年,主要研發、生產、銷售光掩模工藝設備,是江蘇省高新技術企業。
REC擁有完整的自動化設備研發和加工能力,設計團隊包括液路工藝、機械、電氣、自動化和控制軟件等設計人員。公司加工車間配置有多臺普通和數字機械加工設備,基本滿足公司部件加工需求。此外,公司還搭建有10萬級潔凈廠房,配備了18兆歐純水系統,用于公司設備的組裝調試和潔凈部件的生產加工。
2008年底,由REC自主研發的“130納米級光掩模清洗設備”,打破了國外該領域的壟斷,填補了國內空白,各項檢測指標均已達到或超過國際領先水平,該設備被評為“江蘇省首臺(套)重大裝備產品”。2013年10月,由REC承擔的國家科技重大專項(02專項)所研發生產的“90納米光掩模清洗設備”成功進入終端客戶生產線。
公司發展至今,已研發、生產、銷售多臺光掩模濕法工藝設備,分別應用于中芯國際集成電路制造(上海)有限公司、無錫華潤微電子有限公司、中國科學技術大學、深圳清溢光電股份有限公司等國內重要集成電路制造企事業的生產線,并受到業內一致好評。此外,REC還成功研發了CO2發泡機、全氟泵、在線紅外加熱器等部件,廣泛應用于硅晶圓、LED、MEMS、光伏、平板顯示等行業。
REC在自主研發的過程中,已獲得自主知識產權33項,先后承擔了部、省、市、區各級的科技研發項目,并與中國科學院微電子研究所、無錫華潤微電子掩模工廠、中芯國際、韓國海力士、以色列CI-SEMI、芬蘭Picosun等多家國內外企事業單位合作,共同研究開發光掩模清洗新工藝設備以及微納加工工藝設備。
REC希望通過與客戶的緊密合作及技術創新,根據客戶實際需求,結合自身優勢,在相關領域取得更大的發展,大幅度提高設備的性價比,成為客戶發展的堅實后盾,為我國蓬勃發展的半導體事業爭光添彩。
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